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德國海德漢heidenhain高精度直線(xiàn)光柵尺工作原理

發(fā)布時(shí)間: 2025-02-24  點(diǎn)擊次數: 366次

德國海德漢heidenhain高精度直線(xiàn)光柵尺基礎信息:

直線(xiàn)光柵尺測量直線(xiàn)軸位置無(wú)需任何中間機械連接件。因此,可避免許多潛在誤差源,例如反向間隙、螺距誤差或循環(huán)滾珠絲杠發(fā)熱。只要位置精度嚴格和加工速度高,那么直線(xiàn)光柵尺。

LIC 4100系列

絕對式直線(xiàn)光柵尺

高精度和大測量長(cháng)度

支持不同的安裝方式

鋼尺帶、玻璃陶瓷或玻璃基體的光柵

可帶功能安全特性

高速運動(dòng)的直線(xiàn)軸

測量長(cháng)度達28 m

超小測量步距版(<1 nm

可提供高真空版

可提供功能安全特性

支持不同的安裝方式

接口:EnDat、發(fā)那科、三菱、松下和安川

德國海德漢heidenhain高精度直線(xiàn)光柵尺功能安全特性

該系列的部分編碼器可提供功能安全特性和機械連接防松保護功能。集成到系統中后,該解決方案可提供SIL 2級的安全性,最大限度減少故障和支持機床的安全工作。

應用的多樣性

該系列產(chǎn)品應用廣泛。LIC系列直線(xiàn)光柵尺亮點(diǎn)多,設計堅固,精度高,支持高速度和大測量長(cháng)度。部分版本的光柵尺可在高安全性環(huán)境或高真空度應用中使用。

高運動(dòng)速度

LIC系列直線(xiàn)光柵尺不僅精度高,而且支持高速運動(dòng)。測量步距僅1 nm和運動(dòng)速度可高達600 m/min。絕對式位置測量,并且抗污性能優(yōu)異,可靠性高。

大測量長(cháng)度

可選該系列直線(xiàn)光柵尺的不同版本,測量長(cháng)度可達28米。這些光柵尺擁有高動(dòng)態(tài)性能、高可靠性并在測量長(cháng)度的全長(cháng)上保持一致的高精度。

對污染不敏感

這系列光柵尺采用大掃描區設計,擁有優(yōu)異的抗污性能。測量基準上的局部異物幾乎不影響信號質(zhì)量和測量可靠性。

海德漢heidenhain高精度直線(xiàn)光柵尺原理

光電式原理:通過(guò)光源發(fā)出光線(xiàn),經(jīng)過(guò)聚光鏡后照射到標尺光柵和指示光柵上。當標尺光柵與指示光柵相對移動(dòng)時(shí),會(huì )產(chǎn)生莫爾條紋,光敏元件將莫爾條紋的光強變化轉換為電信號,通過(guò)對電信號的處理和計數,就能精確測量出直線(xiàn)位移量。

電磁感應式原理:利用電磁感應現象,當標尺光柵與感應頭相對移動(dòng)時(shí),在感應頭的線(xiàn)圈中產(chǎn)生感應電動(dòng)勢,其大小和相位與位移量相關(guān),經(jīng)過(guò)信號處理電路解算出位移信息。

電容式原理:由固定電極和可動(dòng)電極組成,可動(dòng)電極隨被測物體移動(dòng),固定電極和可動(dòng)電極之間的電容值會(huì )隨著(zhù)相對位移的變化而變化,通過(guò)測量電容值的變化來(lái)計算出直線(xiàn)位移。

海德漢heidenhain高精度直線(xiàn)光柵尺特點(diǎn)

高精度:能夠實(shí)現微米級甚至納米級的測量精度,滿(mǎn)足各種高精度加工和測量需求。

高分辨率:可以精確地分辨出極小的位移變化,提供豐富的測量細節。

響應速度快:能夠快速地跟蹤被測物體的移動(dòng),實(shí)時(shí)輸出測量數據,適用于高速運動(dòng)的測量場(chǎng)合。

可靠性高:采用了先進(jìn)的制造工藝和優(yōu)質(zhì)的材料,具有良好的穩定性和抗干擾能力,能夠在惡劣的工作環(huán)境下長(cháng)期穩定工作。

非接觸式測量:標尺光柵和指示光柵之間沒(méi)有直接接觸,減少了磨損和摩擦,提高了使用壽命,同時(shí)也避免了因接觸而產(chǎn)生的測量誤差。

海德漢heidenhain高精度直線(xiàn)光柵尺應用領(lǐng)域

機床加工領(lǐng)域:用于數控機床的位置反饋,精確控制工作臺、刀具等的移動(dòng)位置,提高加工精度,保證零件的加工質(zhì)量。在磨床、銑床、車(chē)床等各類(lèi)機床上都有廣泛應用。

半導體制造領(lǐng)域:在光刻機、刻蝕機等半導體制造設備中,用于精確控制晶圓的定位和移動(dòng),確保芯片制造的高精度和一致性。

測量?jì)x器領(lǐng)域:如三坐標測量?jì)x、工具顯微鏡等,用于精確測量物體的尺寸、形狀和位置,為質(zhì)量檢測和控制提供準確的數據支持。

自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)領(lǐng)域:用于自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)中工件的定位和檢測,實(shí)現自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程的精確控制和質(zhì)量監控,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

德國海德漢heidenhain高精度直線(xiàn)光柵尺工作原理

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