美國honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品描述：

該傳感器具有基于*微結構技術(shù)的*硅芯片。它由一個(gè)薄膜，熱隔離的橋式結構組成，該結構包含加熱器和溫度感應元件。橋結構能夠快速靈敏地響應流過(guò)芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件雙面的雙傳感元件還能指示氣流流過(guò)的方向和速率。

專(zhuān)門(mén)設計的外殼可精地引導和控制穿過(guò)微結構傳感元件的氣流。封裝的機械設計能夠輕松地將其安裝在印刷電路板上。

激光微調的厚膜和薄膜電阻器可在一臺設備與另一臺設備之間提供一致的互換性。這些電阻呈現懸浮狀態(tài)，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。微橋氣體質(zhì)量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。

通過(guò)蝕刻流量傳感器橋下的空腔空間，可實(shí)現加熱器和感應電阻的高效，熱隔離。

雙惠斯通電橋控制氣流測量-一個(gè)提供閉環(huán)加熱器控制，另一個(gè)包含雙重傳感元件。

加熱器電路將加熱器溫度保持在高于環(huán)境空氣溫度的恒定差（160°C）的恒定差（160°C）處，該溫度由熱量感測到。芯片上的沉電阻。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應。

未放大的版本需要加熱器控制電路和感測電橋供電電路才能按照規范進(jìn)行操作。差分放大器電路在提供輸出增益和/或向傳感器輸出引入電壓偏移時(shí)可能會(huì )很有用。放大版本的板上電路可用于增加輸出增益并引入電壓偏移。（有關(guān)更多電路信息，請參見(jiàn)產(chǎn)品數據表和安裝說(shuō)明。）

美國honeywell氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)規格：

honeywell傳感器產(chǎn)品特色

• 精密硅微機械加工

• 對0.1 SCCM至6 SLPM的低流量敏感

• 適用于較高流量

• 低功耗允許用于便攜式設備和電池供電的應用

• 模擬輸出

• 標準的2.54毫米[0.10英寸]安裝中心

• 激光修正達到可互換性

• 準確檢測低壓

AWM43300V傳感器應用領(lǐng)域:

• 加熱，通風(fēng)和空調系統的風(fēng)門(mén)控制

• 氣體分析儀

• 低真空控制

• 過(guò)程控制

• 醫用H吸機和肺活量?jì)x

• 制氧機

• 泄漏檢測儀

• 通氣罩

• 麻醉控制

• 氣體計量

• 氣相色譜儀

更多產(chǎn)品詳見(jiàn)：honeywell傳感器