松下測量和測量系統的優(yōu)勢

高標準的三維測量機UA3P可以適應許多領(lǐng)域。

超高精度測量（實(shí)現單納米可重復性）

使用接觸測量（旋轉對稱(chēng)的非球面和自由形式表面）的絕對形狀評估

復雜形狀的靈活的NC路徑

從測量數據（例如Zerinike Anallys）中實(shí)現各種分析

還可以評估表面和外部形狀之間的偏心率（例如，非球面，自由形式的表面，晶圓鏡片）

即使在復雜的形狀中也可以測量表面粗糙度

可以在沒(méi)有設計公式的情況下進(jìn)行測量和評估

使用CAD數據評估

通過(guò)自動(dòng)測量進(jìn)行工作水平和勞動(dòng)節省

松下測量和測量系統的功能

松下 Panasonic測量和測量系統協(xié)調測量技術(shù)

測量機的坐標系由獨立于階段的三個(gè)參考平面（鏡子）組成，每個(gè)XYZ軸都使用激光干涉儀，使用頻率穩定的HE-NE激光作為光源來(lái)測量0.3 nm的分辨率。這降低了舞臺的平方和直率的影響，從而實(shí)現了高精度的測量。

坐標軸引起的測量誤差：在0.05μm內（高達100毫米），在0.3μm以?xún)龋ǜ哌_500 mm）

協(xié)調測量技術(shù)

測量探針

通過(guò)超低測量力，可以對測量物體進(jìn)行高精度掃描測量。

手寫(xiě)筆由微型空氣滑塊持有，焦點(diǎn)激光器檢測出手寫(xiě)筆的運動(dòng)，并根據測量對象的形狀遵循AFP的位置，以使測量力是恒定的。

測量力：0.15-0.30 MN（15-30 mgf） *UA3P-3100/4000為0.05-0.30 MN，UA3P-5000H為0.10-0.30 MN

手寫(xiě)筆：角度30度，r =2μm鉆石手寫(xiě)筆可以使用

測量探針

核心軟件技術(shù)

通過(guò)簡(jiǎn)單操作實(shí)現高精度測量。它可以處理任何設計信息，并且可以通過(guò)以三維方式糾正測量對象的安裝錯誤來(lái)進(jìn)行準確的形狀測量。